An apparatus for treating various types of perfluorinated compounds using liquid metals formed of dissimilar metals and a method for processing various types of perfluorinated compounds using the same

본 발명의 일 실시 예는 액체주석에 액체주석과는 다른 이종금속을 혼합하고, 이와 같은 이종금속 기반의 액체금속을 이용하여 CF4를 포함한 다양한 과불화 화합물의 제거가 용이하도록 하는 기술을 제공한다. 본 발명의 실시 예에 따른 이종금속 기반 액체금속을 이용한 다종 과불화 화합물 처리 장치는, 과불화화합물과 반응하는 금속인 반응금속 및 액체주석(Sn)을 외부로부터 전달받고, 상기 반응금속과 상기 액체주석을 혼합하여 액체금속을 형성하는 교반부; 상기 교반부로부터 배출된 상기 액체금속을 전달받아 이송시키는 이송부; 상기 이송부로부터 배...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: EOM HYEON JIN, KIM WHI DONG, LEE YOUNG JAE, KWON HYUN MIN, KIM SEONG IL, JEONG SOO HWA, LEE UEN DO
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:본 발명의 일 실시 예는 액체주석에 액체주석과는 다른 이종금속을 혼합하고, 이와 같은 이종금속 기반의 액체금속을 이용하여 CF4를 포함한 다양한 과불화 화합물의 제거가 용이하도록 하는 기술을 제공한다. 본 발명의 실시 예에 따른 이종금속 기반 액체금속을 이용한 다종 과불화 화합물 처리 장치는, 과불화화합물과 반응하는 금속인 반응금속 및 액체주석(Sn)을 외부로부터 전달받고, 상기 반응금속과 상기 액체주석을 혼합하여 액체금속을 형성하는 교반부; 상기 교반부로부터 배출된 상기 액체금속을 전달받아 이송시키는 이송부; 상기 이송부로부터 배출된 상기 액체금속을 전달받아 수용하는 반응부; 상기 반응부로 과불화화합물을 공급하는 반응물공급부; 및 상기 반응부의 내부 온도를 상승시키는 반응가열부를 포함한다.