COLUMN STRUCTURE OF THE FACEPLATE

본 발명은 페이스플레이트의 기둥 구조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 공정에서 사용되는 샤워헤드의 페이스플레이트의 기둥 구조에 관한 것이다. 이러한 본 발명은, 반도체 제조 공정에 사용되는 샤워헤드의 페이스플레이트 기둥 구조로서, 백플라이트의 하부에 배치되는 베이스의 상부에서 상측으로 돌출 구비되되 제1폭을 갖는 다수의 제1기둥; 및 상기 베이스 상부에서 상측으로 돌출 구비되되 상기 제1폭보다 큰 제2폭을 갖고 전도체가 삽입되는 연결홈의 상부홈이 형성된 바디를 포함하는 제2기둥;을 포함한다....

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KYE MINJUN, SHIN SEUNGYONG, YUN BYEONG HO, HONG JUN HO, KIM HYUNJOONG, KANG MIN WOOK, JANG KYUNG HO, KIM HYUNGJOON
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 페이스플레이트의 기둥 구조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 공정에서 사용되는 샤워헤드의 페이스플레이트의 기둥 구조에 관한 것이다. 이러한 본 발명은, 반도체 제조 공정에 사용되는 샤워헤드의 페이스플레이트 기둥 구조로서, 백플라이트의 하부에 배치되는 베이스의 상부에서 상측으로 돌출 구비되되 제1폭을 갖는 다수의 제1기둥; 및 상기 베이스 상부에서 상측으로 돌출 구비되되 상기 제1폭보다 큰 제2폭을 갖고 전도체가 삽입되는 연결홈의 상부홈이 형성된 바디를 포함하는 제2기둥;을 포함한다.