INKJET PRINTING APPARATUS AND METHOD OF FABRICATING DISPLAY DEVICE

잉크젯 인쇄 장치는 제1 유체와 제2 유체가 인입, 저장, 및 인출되는 제1 탱크, 제1 탱크에서 인출된 제1 유체가 인입되는 제2 탱크, 제2 탱크에서 인출된 제1 유체를 대상 기판에 분사시키는 분사모듈 및 제1 탱크와 연결되어 제1 탱크에서의 제2 유체의 압력이 70Kpa 이하가 되도록 조절하는 제1 압력조절모듈을 포함한다. The inkjet printing apparatus includes: a first tank into which a first fluid and a second fluid are introduced, st...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: KIM DEAKI, YOUN TAE HO, KIM KIHYUN, PARK YOUNGCHUN, LEE IMJU, CHOI JIN HO
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:잉크젯 인쇄 장치는 제1 유체와 제2 유체가 인입, 저장, 및 인출되는 제1 탱크, 제1 탱크에서 인출된 제1 유체가 인입되는 제2 탱크, 제2 탱크에서 인출된 제1 유체를 대상 기판에 분사시키는 분사모듈 및 제1 탱크와 연결되어 제1 탱크에서의 제2 유체의 압력이 70Kpa 이하가 되도록 조절하는 제1 압력조절모듈을 포함한다. The inkjet printing apparatus includes: a first tank into which a first fluid and a second fluid are introduced, stored therein, and extracted from the first tank; a second tank into which the first fluid drawn from the first tank is introduced; an ejection module that ejects the first fluid extracted from the second tank to a target substrate; and a first pressure regulating module connected with the first tank to regulate the pressure of the second fluid in the first tank to be less than or equal to 70 Kpa.