Monitoring system of robot assembly provided in vacuum chamber

본 발명은 진공 챔버에 구비되는 로봇 조립체의 모니터링 시스템에 관한 것으로, 특히 진공 챔버 내에서 동작하는 로봇 조립체의 위치 오정렬을 판단하기 위하여 로봇 조립체의 핸드에 대한 이동 경로 변경 여부를 판단하고, 이동 경로가 허용 오차 범위를 벗어난 것으로 판단되면, 영상 획득 모듈에 의해 획득된 영상 데이터뿐만 아니라 변위 측정 모듈에 의해 측정된 거리 데이터를 고려하여 위치 오정렬을 판단 및 분석하도록 구성함으로써, 불필요한 데이터 분석 및 처리를 최소화하여 불필요한 자원 소모 및 처리 로드를 최소화하고, 실시간으로 로봇 조...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	PARK SUN HO, JUNG HUN CHUL, CHO BONG HYUN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES HAND TOOLS MANIPULATORS PERFORMING OPERATIONS PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS TRANSPORTING
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