Monitoring system of robot assembly provided in vacuum chamber

본 발명은 진공 챔버에 구비되는 로봇 조립체의 모니터링 시스템에 관한 것으로, 특히 진공 챔버 내에서 동작하는 로봇 조립체의 위치 오정렬을 판단하기 위하여 로봇 조립체의 핸드에 대한 이동 경로 변경 여부를 판단하고, 이동 경로가 허용 오차 범위를 벗어난 것으로 판단되면, 영상 획득 모듈에 의해 획득된 영상 데이터뿐만 아니라 변위 측정 모듈에 의해 측정된 거리 데이터를 고려하여 위치 오정렬을 판단 및 분석하도록 구성함으로써, 불필요한 데이터 분석 및 처리를 최소화하여 불필요한 자원 소모 및 처리 로드를 최소화하고, 실시간으로 로봇 조립체 상태를 모니터링하여 로봇 조립체의 위치 오정렬을 정확하고 용이하게 판단할 수 있고, 더 나아가 로봇 조립체의 위치 교정 역시 정확하고 용이하게 수행되는 것이 가능하도록 하는 진공 챔버에 구비되는 로봇 조립체의 모니터링 시스템에 관한 것이다. 본 발명인 진공 챔버 내에 구비되는 로봇 조립체의 모니터링 시스템을 이루는 구성수단은, 진공 챔버 내에 구비되는 로봇 조립체의 모니터링 시스템에 있어서, 상기 로봇 조립체의 핸드의 이동 경로에 배치되어 이동 경로를 따라 이동하는 상기 로봇 조립체의 핸드에 대한 이동 경로 변경 여부 판단 정보를 획득하는 핸드 경로 정보 획득 모듈, 상기 로봇 조립체의 이동 경로에 포함되는 적어도 하나의 기설정 위치에서 기준 마크의 영상을 획득하는 영상 획득 모듈, 상기 로봇 조립체의 이동 경로에 포함되는 적어도 하나의 기설정 위치에서 로봇 조립체와의 거리를 측정하는 변위 측정 모듈, 상기 영상 획득 모듈에 의해 획득된 영상 데이터와 상기 변위 측정 모듈에 의해 측정된 거리 데이터를 분석하여 실시간으로 상기 로봇 조립체 상태를 모니터링하는 모니터링 장치를 포함하여 구성되되, 상기 기준 마크는 상기 로봇 조립체에 형성되거나 또는 상기 진공 챔버 내부의 특정 지점에 배치되고, 상기 영상 획득 모듈은 상기 로봇 조립체에 장착되거나 또는 상기 진공 챔버의 내부 또는 외부에 배치되며, 상기 변위 측정 모듈은 상기 진공 챔버의 내부 또는 외부에 배치되는 것을 특징으로 한다.