금속의 에칭을 위한 방법

금속을 에칭하는 방법은, 적어도 2개의 사이클의 에칭 공정을 수행하는 단계를 포함한다. 에칭 공정의 사이클은, 기판 위의 금속 층의 노출된 표면 상에 표면 변형을 수행하는 단계; 금속 층 상에 수소 처리를 수행하는 단계; 및 금속 층 상에 세척 처리를 수행하는 단계를 포함한다. 수소 처리는 금속 층 상에 반응 생성물 층을 형성한다. 세척 처리는 반응 생성물 층을 제거한다. A method of etching a metal includes performing at least two cycles of an etch process. A cycle of the etch process includes: performing a surface modification on an exposed surface of a metal layer over a substrate, performing a hydrogen treatment on the metal layer, and performing a cleaning treatment on the metal layer. The hydrogen treatment forms a layer of reaction products on the metal layer. The cleaning treatment removes the layer of reaction products.