AN APPARATUS FOR CLEANING AND DRYING A PLURALITY OF RECLAIMED WAFERS

본 발명은 복수의 재생 웨이퍼들을 세정 및 건조하는 장치에 관한 것이다. 이를 위해, 본 발명의 일 실시 예에 따른 복수의 재생 웨이퍼들을 세정 및 건조하는 장치는 상기 복수의 재생 웨이퍼들을 이동시키는 두 개의 로봇 암들의 좌우 이동을 제어하며, 상기 두 개의 로봇 암들이 이동하도록 홈이 형성된 몸체부; 상기 몸체부의 일 측에 배치되고, 상기 복수의 재생 웨이퍼들을 세정하는 세정액을 저장하는 세정부; 및 상기 몸체부의 우 측에 배치되고, 상기 로봇 암들에 의해 이동되는 상기 세정된 복수의 재생 웨이퍼들이 삽입되는 카세트가 놓여진...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	DONG WAN KIM, JONG JIN KWON
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CLEANING CLEANING IN GENERAL ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY PERFORMING OPERATIONS PREVENTION OF FOULING IN GENERAL SEMICONDUCTOR DEVICES TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 복수의 재생 웨이퍼들을 세정 및 건조하는 장치에 관한 것이다. 이를 위해, 본 발명의 일 실시 예에 따른 복수의 재생 웨이퍼들을 세정 및 건조하는 장치는 상기 복수의 재생 웨이퍼들을 이동시키는 두 개의 로봇 암들의 좌우 이동을 제어하며, 상기 두 개의 로봇 암들이 이동하도록 홈이 형성된 몸체부; 상기 몸체부의 일 측에 배치되고, 상기 복수의 재생 웨이퍼들을 세정하는 세정액을 저장하는 세정부; 및 상기 몸체부의 우 측에 배치되고, 상기 로봇 암들에 의해 이동되는 상기 세정된 복수의 재생 웨이퍼들이 삽입되는 카세트가 놓여진 수거부를 포함하며, 상기 몸체부는, 상기 세정부에서 세정된 복수의 재생 웨이퍼들이 상기 두 개의 로봇 암들 내면에 거치되고, 상기 거치된 복수의 재생 웨이퍼들이 상기 수거부의 상부로 이동하여 상기 카세트의 내부에 삽입되도록 상기 두 개의 로봇 암들의 동작시킬 수 있다.