물리 기반 모델을 셋업하기 위한 시스템 및 방법

물리 기반 모델을 셋업하기 위한 시스템 및 방법이 제공된다. 하나의 시스템은 하나 이상의 컴퓨터 서브시스템에 의해 실행되고, 반도체 제조 관련 프로세스를 기술하는 물리 기반 모델 및 다수의 페이즈에서 물리 기반 모델을 셋업하도록 구성된 셋업 컴포넌트를 포함하는 하나 이상의 컴포넌트를 포함하며, 다수의 페이즈 각각에서 물리 기반 모델의 파라미터 모두의 서브세트가 셋업된다. 셋업 컴포넌트의 구성은 다수의 페이즈 중 적어도 2개의 페이즈에서 셋업된 물리 기반 모델의 파라미터 모두의 서브세트에 기초하여 다수의 페이즈 중 적어도 2개의 페이즈 사이에서 변경된다. 셋업 컴포넌트는 다수의 정보 소스 및 목적 함수를 사용하여 캐스케이드 모델 셋업 또는 캘리브레이션을 위한 베이지안 최적화 기술을 수행할 수 있다. Systems and methods for setting up a physics-based model are provided. One system includes one or more components that are executed by one or more computer subsystems and that include a physics-based model describing a semiconductor fabrication-related process and a set up component configured for setting up the physics-based model in multiple phases in each of which only a subset of all of the parameters of the physics-based model are set up. A configuration of the set up component is changed between at least two of the multiple phases based on the subset of all of the parameters of the physics-based model set up in the at least two of the multiple phases. The set up component may perform a Bayesian optimization technique for cascaded model set up or calibration using multiple information sources and objective functions.