Card lifting apparatus for Prober
프로버의 카드 승강 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 프로버의 카드 승강 장치는 스테이지 챔버 내부에 설치 고정되는 고정 프레임; 상기 고정 프레임에 일단이 고정되고 작동로드를 승강 작동시키는 승강수단; 상기 승강수단의 작동로드에 연결되어 상기 승강수단의 작동에 따라 상기 고정 프레임에 대하여 상대 승강하는 이송 프레임; 및 상기 이송 프레임에 설치되고 제공되는 프로브 카드를 지지함으로써 프로브 카드를 교체할 수 있도록 프로브 카드 고정부까지 승강시키는 카드 지지부;를 포함할 수 있다. A prober card lifti...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | 프로버의 카드 승강 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따른 프로버의 카드 승강 장치는 스테이지 챔버 내부에 설치 고정되는 고정 프레임; 상기 고정 프레임에 일단이 고정되고 작동로드를 승강 작동시키는 승강수단; 상기 승강수단의 작동로드에 연결되어 상기 승강수단의 작동에 따라 상기 고정 프레임에 대하여 상대 승강하는 이송 프레임; 및 상기 이송 프레임에 설치되고 제공되는 프로브 카드를 지지함으로써 프로브 카드를 교체할 수 있도록 프로브 카드 고정부까지 승강시키는 카드 지지부;를 포함할 수 있다.
A prober card lifting/lowering device is disclosed. The prober card lifting/lowering device according to one aspect of the present invention may comprise: a fixed frame provided and fixed inside a stage chamber; a lifting/lowering means having one end fixed to the fixed frame, and operating an operating rod to be lifted/lowered; a transfer frame connected to the operating rod of the lifting/lowering means so as to be lifted/lowered relative to the fixed frame according to the operation of the lifting/lowering means; and a card support part, which is provided on the transfer frame and supports a provided probe card so as to lift/lower the probe card up to a probe card fixing part such that same can be replaced. |
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