APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING DEFECT

결함 검사 장치 및 결함 검사 방법이 개시된다. 일 실시예에 따른 결함 검사 장치는 인스트럭션들을 저장하는 메모리, 및 메모리와 연결되고, 인스트럭션들을 실행하기 위한 프로세서를 포함할 수 있다. 프로세서에 의해 인스트럭션들이 실행될 때, 프로세서는 복수의 동작들을 수행하고, 복수의 동작들은 객체를 포함하는 입력 영상을 수신하는 동작, 입력 영상으로부터 특징 점들을 추출하는 동작, 특징 점들에 기초하여 객체의 형상에 대한 치수 데이터를 획득하는 동작, 및 객체의 형상에 대한 치수 데이터 및 미리 설정된 등급 기준 데이터에 기초하여...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	LEE JONG HEYON, SHIN WOO SANG, WON HONG IN, LEE TAE HAN, YUN JONG PIL
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	CALCULATING COMPUTER SYSTEMS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS COMPUTING COUNTING IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	결함 검사 장치 및 결함 검사 방법이 개시된다. 일 실시예에 따른 결함 검사 장치는 인스트럭션들을 저장하는 메모리, 및 메모리와 연결되고, 인스트럭션들을 실행하기 위한 프로세서를 포함할 수 있다. 프로세서에 의해 인스트럭션들이 실행될 때, 프로세서는 복수의 동작들을 수행하고, 복수의 동작들은 객체를 포함하는 입력 영상을 수신하는 동작, 입력 영상으로부터 특징 점들을 추출하는 동작, 특징 점들에 기초하여 객체의 형상에 대한 치수 데이터를 획득하는 동작, 및 객체의 형상에 대한 치수 데이터 및 미리 설정된 등급 기준 데이터에 기초하여 객체의 등급을 결정하고, 객체의 결함 유무를 결정하는 동작을 포함할 수 있다.