ARC EVAPORATION SOURCE

아크 증발원은, 타깃 방전면을 포함하는 타깃과, 아크 전원과, 타깃의 전방에 배치되는 전자 코일과, 타깃의 후방에 배치되는 중앙 자석을 구비한다. 전자 코일은, 타깃 방전면과 교차하고 또한 당해 전자 코일의 직경 방향 내측을 전후 방향으로 통과하도록 연장되는 제1 자력선을 포함하는 제1 자장을 형성한다. 중앙 자석은, 당해 중앙 자석과 타깃 방전면의 사이의 영역에 있어서 전후 방향으로 연장되는 제2 자력선을 포함하는 제2 자장을 형성한다. 제1 자장과 제2 자장의 반발에 의해, 타깃 방전면상에 수평 자장과 수직 자장이 안정적으로 형성된다. An arc evaporation source includes a target including a target discharge surface, an arc power supply, an electromagnetic coil arranged forward of the target, and a central magnet arranged rearward of the target. The electromagnetic coil forms a first magnetic field containing a first magnetic force line intersecting the target discharge surface and extending so as to pass through, in a front-rear direction, radially inside the electromagnetic coil. The central magnet forms a second magnetic field containing a second magnetic force line extending in a front-rear direction in a region between the central magnet and the target discharge surface. Repulsion between the first magnetic field and the second magnetic field stably forms a horizontal magnetic field and a vertical magnetic field on the target discharge surface.