UNDERCOAT AGENT AND METHOD OF PRODUCING STRUCTURE INCLUDING PHASE-SEPARATED STRUCTURE

기판 상에서, 블록 코폴리머를 포함하는 층을 상분리시키기 위해서 사용되는 하지제로서, 하기 일반식 (u1) 로 나타내는 구성 단위 (u1) 과, 하기 일반식 (u2) 로 나타내는 구성 단위 (u2) 를 갖는 수지 성분 (A1) 을 함유하는, 하지제. 일반식 (u1) 중, R11 은 수소 원자, 탄소 원자수 1 ∼ 5 의 알킬기 또는 탄소 원자수 1 ∼ 5 의 할로겐화알킬기를 나타내고 ; R12 는 치환기를 나타내고 ; n 은 0 ∼ 5 의 정수를 나타낸다. 일반식 (u2) 중, R2 는 수소 원자, 탄소 원자수 1 ∼ 5 의 알킬기...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: TSUCHIYA JUNICHI, IINO SHOTA
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:기판 상에서, 블록 코폴리머를 포함하는 층을 상분리시키기 위해서 사용되는 하지제로서, 하기 일반식 (u1) 로 나타내는 구성 단위 (u1) 과, 하기 일반식 (u2) 로 나타내는 구성 단위 (u2) 를 갖는 수지 성분 (A1) 을 함유하는, 하지제. 일반식 (u1) 중, R11 은 수소 원자, 탄소 원자수 1 ∼ 5 의 알킬기 또는 탄소 원자수 1 ∼ 5 의 할로겐화알킬기를 나타내고 ; R12 는 치환기를 나타내고 ; n 은 0 ∼ 5 의 정수를 나타낸다. 일반식 (u2) 중, R2 는 수소 원자, 탄소 원자수 1 ∼ 5 의 알킬기 또는 탄소 원자수 1 ∼ 5 의 할로겐화알킬기를 나타내고 ; L2 는 단결합 또는 2 가의 연결기를 나타내고 ; Y2 는 탄소 원자수 5 ∼ 15 의 2 가의 연결기를 나타낸다. [화학식 1] JPEGpat00020.jpg4761 An undercoat agent that is used for subjecting a layer including a block copolymer to phase separation on a substrate, the undercoat agent containing a resin component (A1) having a constitutional unit (u1) represented by General Formula (u1) and a constitutional unit (u2) represented by General Formula (u2). In General Formula (u1), R11 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogenated alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, R12 represents a substituent, and n represents an integer of 0 to 5. In General Formula (u2), R2 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogenated alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, L2 represents a single bond or a divalent linking group, and Y2 represents a divalent linking group having 5 to 15 carbon atoms