REAL TIME PROCESS CHARACTERIZATION

실시예들은 프로세스 모니터링 디바이스들, 및 그러한 프로세스 모니터링 디바이스들을 사용하는 방법들을 포함한다. 일 실시예에서, 프로세스 모니터링 디바이스는 기판을 포함한다. 프로세스 모니터링 디바이스는 또한, 기판의 지지 표면 상에 형성된 복수의 센서들을 포함할 수 있다. 실시예에 따르면, 각각의 센서는 프로세싱 조건에 대응하는 출력 신호를 생성할 수 있다. 게다가, 실시예들은 기판 상에 형성된 네트워크 인터페이스 디바이스를 포함하는 프로세스 모니터링 디바이스를 포함한다. 실시예에 따르면, 복수의 센서들 각각은 네트워크 인터페이스...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	RAMASWAMY KARTIK, TEDESCHI LEONARD
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVEREDIN A SINGLE OTHER SUBCLASS BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MEASURING MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TARIFF METERING APPARATUS TESTING
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