REAL TIME PROCESS CHARACTERIZATION

실시예들은 프로세스 모니터링 디바이스들, 및 그러한 프로세스 모니터링 디바이스들을 사용하는 방법들을 포함한다. 일 실시예에서, 프로세스 모니터링 디바이스는 기판을 포함한다. 프로세스 모니터링 디바이스는 또한, 기판의 지지 표면 상에 형성된 복수의 센서들을 포함할 수 있다. 실시예에 따르면, 각각의 센서는 프로세싱 조건에 대응하는 출력 신호를 생성할 수 있다. 게다가, 실시예들은 기판 상에 형성된 네트워크 인터페이스 디바이스를 포함하는 프로세스 모니터링 디바이스를 포함한다. 실시예에 따르면, 복수의 센서들 각각은 네트워크 인터페이스 디바이스에 통신가능하게 커플링된다. 네트워크 인터페이스 디바이스는 프로세싱 동작들 동안에, 센서들로부터 획득된 출력 신호들이 외부 컴퓨터에 무선으로 송신될 수 있게 한다. Embodiments include process monitoring devices and methods of using such process monitoring devices. In one embodiment, the process monitoring device includes a substrate. The process monitoring device may also include a plurality of sensors formed on a support surface of the substrate. According to an embodiment, each sensor is capable of producing an output signal that corresponds to a processing condition. Furthermore, embodiments include a process monitoring device that includes a network interface device that is formed on the substrate. According to an embodiment each of the plurality of sensors is communicatively coupled to the network interface device. The network interface device allows for the output signals obtained from the sensors to be wirelessly transmitted to an external computer during processing operations.