직접-구동 RF 전력 공급부를 위한 기준 박스

직접-구동 무선 주파수 전력 공급부 (direct-drive radiofrequency (RF) power supply) 를 위한 RF 캘리브레이션 시스템은 비-기준 입력 임피던스를 기준 출력 임피던스로 변환하기 위한 기준 회로 (reference circuit) 를 포함하는 기준 박스를 포함한다. 기준 박스는 직접-구동 RF 전력 공급부의 RF 출력 커플링에 전기적으로 접속된 입력 커넥터를 갖는다. RF 전력계는 기준 박스의 출력 커넥터에 전기적으로 접속된 RF 전력 입력부를 갖는다. RF 전력계는 기준 박스의 기준 출력 임피던스와 실질적으로 매칭하는 입력 임피던스 및 출력 임피던스를 갖는다. 케이블은 RF 전력계의 RF 전력 출력부에 전기적으로 접속된 제 1 단부 및 기준 박스의 기준 출력 임피던스와 실질적으로 매칭하는 임피던스를 갖는 테스트 부하에 접속된 제 2 단부를 갖는다. 제어기는 RF 전력계의 데이터 인터페이스와 데이터 통신하도록 접속된다. A radiofrequency calibration system for a direct-drive radiofrequency power supply includes a reference box that includes a reference circuit for converting a non-reference input impedance to a reference output impedance. The reference box has an input connector electrically connected to a radiofrequency output coupling of the direct-drive radiofrequency power supply. A radiofrequency power meter has a radiofrequency power input electrically connected to an output connector of the reference box. The radiofrequency power meter has an input impedance and an output impedance that substantially match the reference output impedance of the reference box. A cable has a first end electrically connected to a radiofrequency power output of the radiofrequency power meter and a second end connected to a test load that has an impedance that substantially matches the reference output impedance of the reference box. A controller is connected in data communication with a data interface of the radiofrequency power meter.