Substrate transfer device substrate processing system and method of controlling substrate transfer

본 발명의 일 관점에 따른 승강 로봇 어셈블리는, 대상물을 탑재하여 이동시키기 위한 로봇 모듈과, 수직 방향으로 연장되고, 회전 구동에 의해서 상기 로봇 모듈을 승강시키도록 상기 로봇 모듈과 회전 가능하게 결합된 승강 구동부와, 상기 승강 구동부를 회전시키도록 상기 승강 구동부에 결합된 모터부와, 상기 승강 구동부의 회전 속도를 모니터링하기 위한 회전 센싱부와, 상기 승강 구동부의 회전에 제동을 걸기 위한 브레이크부와, 상기 회전 센싱부로부터 받은 상기 승강 구동부의 회전 속도에 관련된 데이터로부터 상기 승강 구동부의 회전 속도가...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KO JIN YEONG, JOUNG KWON JAE, LEE CHAN SOL, OH KWANG JE, KO DONG SUN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY HAND TOOLS MANIPULATORS PERFORMING OPERATIONS PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS SEMICONDUCTOR DEVICES TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명의 일 관점에 따른 승강 로봇 어셈블리는, 대상물을 탑재하여 이동시키기 위한 로봇 모듈과, 수직 방향으로 연장되고, 회전 구동에 의해서 상기 로봇 모듈을 승강시키도록 상기 로봇 모듈과 회전 가능하게 결합된 승강 구동부와, 상기 승강 구동부를 회전시키도록 상기 승강 구동부에 결합된 모터부와, 상기 승강 구동부의 회전 속도를 모니터링하기 위한 회전 센싱부와, 상기 승강 구동부의 회전에 제동을 걸기 위한 브레이크부와, 상기 회전 센싱부로부터 받은 상기 승강 구동부의 회전 속도에 관련된 데이터로부터 상기 승강 구동부의 회전 속도가 기 설정된 기준 회전 속도를 초과한다고 판단하는 경우, 상기 로봇 모듈의 비정상적인 낙하를 방지하기 위하여 상기 브레이크부의 구동을 제어하는 제어부를 포함한다.