형상 계측 장치용 광학계
본 발명의 형상 계측 장치용 광학계는, 평행광 조사계와, 촬상 광학계를 구비하고, 상기 평행광 조사계는, 점광원과, 콜리메이터 렌즈와, 상기 콜리메이터 렌즈로부터의 광이 피측정 물체 너머에 조사되는, 양측 또는 물체측 텔레센트릭 구조의 텔레센트릭 렌즈를 구비하고, 상기 촬상 광학계는, 상기 텔레센트릭 렌즈를 통과한 광에 의한 상기 피측정 물체의 일부분의 영상이 투영되는 이미지 센서를 구비하고, 상기 점광원은, LED와, 상기 LED로부터의 광을 확산하여 사출하는 확산 부재와, 상기 확산 부재로부터의 광이 입사되는 핀홀을 형성한 핀홀...
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| Hauptverfasser: | , , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
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