형상 계측 장치용 광학계

본 발명의 형상 계측 장치용 광학계는, 평행광 조사계와, 촬상 광학계를 구비하고, 상기 평행광 조사계는, 점광원과, 콜리메이터 렌즈와, 상기 콜리메이터 렌즈로부터의 광이 피측정 물체 너머에 조사되는, 양측 또는 물체측 텔레센트릭 구조의 텔레센트릭 렌즈를 구비하고, 상기 촬상 광학계는, 상기 텔레센트릭 렌즈를 통과한 광에 의한 상기 피측정 물체의 일부분의 영상이 투영되는 이미지 센서를 구비하고, 상기 점광원은, LED와, 상기 LED로부터의 광을 확산하여 사출하는 확산 부재와, 상기 확산 부재로부터의 광이 입사되는 핀홀을 형성한 핀홀 부재를 구비한다. An optical system for a shape measuring device of the present invention includes a parallel light irradiation system and an imaging optical system, in which the parallel light irradiation system includes a point light source, a collimator lens, and a telecentric lens having a both side or object side telecentric structure to be irradiated with light from the collimator lens through an object to be measured, the imaging optical system includes an image sensor onto which an image of a portion of the object to be measured, the image by light passing through the telecentric lens is projected, and the point light source includes an LED, a diffusion member that diffuses and emits light from the LED; and a pinhole member having a pinhole into which light from the diffusion member is incident.