Substrate Clamping Device
본 발명은 기판의 양 측면을 각각 클램핑하는 클램프; 를 포함하고, 상기 클램프는, 회동 가능한 제1 클램프, 제1 클램프의 하부에 마련되고 상기 기판을 상기 제1 클램프와의 사이에 두는 제2 클램프를 포함하며, 상기 제1 클램프와 상기 제2 클램프의 일면에는 상기 기판의 양 측면의 상부면과 하부면에 각각 대면되어 클램핑하는 미끄럼 방지부재를 포함하는 기판 클램핑 장치가 제공될 수 있다....
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| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
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| Zusammenfassung: | 본 발명은 기판의 양 측면을 각각 클램핑하는 클램프; 를 포함하고, 상기 클램프는, 회동 가능한 제1 클램프, 제1 클램프의 하부에 마련되고 상기 기판을 상기 제1 클램프와의 사이에 두는 제2 클램프를 포함하며, 상기 제1 클램프와 상기 제2 클램프의 일면에는 상기 기판의 양 측면의 상부면과 하부면에 각각 대면되어 클램핑하는 미끄럼 방지부재를 포함하는 기판 클램핑 장치가 제공될 수 있다. |
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