SUBSTRATE INSPECTION DEVICE FOR TRANSFERRING TRAY
본 발명은 검사하기 위한 기판을 탑재한 기판 트레이를 공급하고, 상기 기판 트레이에 탑재된 기판이 제거된 회수용 빈 트레이를 회수하는 기판 트레이 공급/회수부; 검사를 마친 기판을 검사 결과에 따라 선별하여 탑재하도록 공급용 빈 트레이를 공급하고 검사를 마친 기판을 탑재한 완료 기판 트레이를 회수하는 빈 트레이 공급/완료기판 회수부; 상기 기판 트레이 또는 상기 공급용 빈 트레이를 이송하는 트레이 이송 수단; 기판을 검사하는 검사부; 를 포함하고, 상기 기판 트레이 공급/회수부에는 상기 기판 트레이가 복수로 적재되는 기판 트레이 적...
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|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
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| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
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