SUBSTRATE INSPECTION DEVICE FOR TRANSFERRING TRAY

본 발명은 검사하기 위한 기판을 탑재한 기판 트레이를 공급하고, 상기 기판 트레이에 탑재된 기판이 제거된 회수용 빈 트레이를 회수하는 기판 트레이 공급/회수부; 검사를 마친 기판을 검사 결과에 따라 선별하여 탑재하도록 공급용 빈 트레이를 공급하고 검사를 마친 기판을 탑재한 완료 기판 트레이를 회수하는 빈 트레이 공급/완료기판 회수부; 상기 기판 트레이 또는 상기 공급용 빈 트레이를 이송하는 트레이 이송 수단; 기판을 검사하는 검사부; 를 포함하고, 상기 기판 트레이 공급/회수부에는 상기 기판 트레이가 복수로 적재되는 기판 트레이 적...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	LEE MAN SIK
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 검사하기 위한 기판을 탑재한 기판 트레이를 공급하고, 상기 기판 트레이에 탑재된 기판이 제거된 회수용 빈 트레이를 회수하는 기판 트레이 공급/회수부; 검사를 마친 기판을 검사 결과에 따라 선별하여 탑재하도록 공급용 빈 트레이를 공급하고 검사를 마친 기판을 탑재한 완료 기판 트레이를 회수하는 빈 트레이 공급/완료기판 회수부; 상기 기판 트레이 또는 상기 공급용 빈 트레이를 이송하는 트레이 이송 수단; 기판을 검사하는 검사부; 를 포함하고, 상기 기판 트레이 공급/회수부에는 상기 기판 트레이가 복수로 적재되는 기판 트레이 적재부가 마련되며, 상기 빈 트레이 공급/완료기판 회수부에는 기판이 없는 공급용 빈 트레이가 복수로 적재되는 빈 트레이 공급용 거치부가 구비되고, 상기 트레이 이송 수단은 복수로 적재된 상기 기판 트레이 또는 상기 공급용 빈 트레이의 최하단의 기판 트레이 또는 공급용 빈 트레이를 빼내서 상기 검사부로 이송하는 기판 검사 장치가 제공될 수 있다.