TiO2 함유 실리카 유리 기판

본 발명은, 산화물 기준의 질량 백분율 표시로 6.7 ∼ 12 질량% 의 TiO2 를 함유하고, 1.40 ppb/K/K 이하의 CTE-slope 를 갖고, 적어도 하나의 주면, 및 적어도 하나의 단면에 있어서, (A) JOGIS-11 (2008) 에 준하는 맥리 평가에 있어서 맥리가 관찰되지 않거나, 또는 (B) 맥리의 강도가 미국 밀리터리 규격 : MIL-G174B 의 클래스 A 에 해당하는, TiO2 함유 실리카 유리 기판에 관한 것이다. The present invention relates to a TiO2-containing...

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Hauptverfasser: OWADA TOMOKI, KURATA SATORU, SASAKI KAZUYA, KAWAGISHI MASAHIRO
Format: Patent
Sprache:kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:본 발명은, 산화물 기준의 질량 백분율 표시로 6.7 ∼ 12 질량% 의 TiO2 를 함유하고, 1.40 ppb/K/K 이하의 CTE-slope 를 갖고, 적어도 하나의 주면, 및 적어도 하나의 단면에 있어서, (A) JOGIS-11 (2008) 에 준하는 맥리 평가에 있어서 맥리가 관찰되지 않거나, 또는 (B) 맥리의 강도가 미국 밀리터리 규격 : MIL-G174B 의 클래스 A 에 해당하는, TiO2 함유 실리카 유리 기판에 관한 것이다. The present invention relates to a TiO2-containing silica glass substrate that: contains 6.7-12 mass % of TiO2, expressed as a mass percentage on an oxide basis; has a CTE-slope of 1.40 ppb/K/K or less; and, in at least one main surface and at least one end surface, (A) no striae are observed in a stria evaluation in compliance with JOGIS 11-2008, or (B) the striation intensity corresponds to class A under US military specification MTL-G-174 B.