반도체 제조 장비의 적응형 문제 해결을 위한 시스템들 및 방법들

시스템은 동작들을 수행하기 위해 메모리 디바이스에 동작 가능하게 결합된 프로세싱 디바이스를 포함하고, 동작들은, 기판의 표면 상에 막을 증착하기 위해 프로세스 챔버에서, 레시피에 따라 수행되는 증착 프로세스와 연관된 복수의 센서 값들을 획득하는 동작; 복수의 센서 값들에 기초하여 제조 데이터 그래프를 생성하는 동작; 사용자 인터페이스를 통해, 제조 그래프 상의 데이터 포인트의 선택을 수신하는 동작; 데이터 포인트와 연관된 장애 데이터를 수신하는 동작; 및 제조 데이터 그래프를 제시하는 사용자 인터페이스를 통해 액세스할 수 있는 장애 데이터를 데이터 구조에 저장하는 동작을 포함한다. A system includes a processing device, operatively coupled to the memory device, to perform operations comprising obtaining a plurality of sensor values associated with a deposition process performed, according to a recipe, in a process chamber to deposit film on a surface of a substrate. A machine-learning model is applied to the plurality of sensor values. The machine-learning model is trained based on historical sensor data of a sub-system of the process chamber and task data associated with the recipe for depositing the film. An output of the machine-learning model is generated that is indicative of a suspected failure of the sub-system and a corrective action is generated based on the suspected failure of the sub-system.