SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

본 발명은, 반송 장치를 대형화하지 않고, 카세트의 보관량을 증가시킬 수 있는 기술을 제공한다. 본 개시의 일 양태에 의한 기판 처리 장치는, 기판을 수용한 용기가 반출입되는 제1 측면과, 상기 제1 측면과 반대측의 제2 측면을 갖는 반출입부와, 상기 제2 측면과 직교하는 제1 방향을 따라 연장되는 기판 반송부와, 상기 기판 반송부의 길이 방향을 따라 인접하는 복수의 뱃치 처리부를 구비하고, 상기 반출입부는, 상기 용기를 반송 가능한 제1 반송 장치 및 제2 반송 장치와, 상기 제1 반송 장치가 액세스 가능하고, 상기 용기를 보관하는 복수의 제1 보관 선반을 포함하는 제1 영역과, 상기 제2 반송 장치가 액세스 가능하고, 상기 용기를 보관하는 복수의 제2 보관 선반을 포함하는 제2 영역과, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역의 사이에서 이동 가능한 가동 선반을 갖는다. A substrate processing apparatus includes: a loading/unloading part having a first side surface into or from which a container accommodating a substrate is loaded or unloaded and a second side surface opposite to the first side surface; a substrate transfer part extending in a first direction orthogonal to the second side surface; and a plurality of batch processors adjacent to each other in a length direction of the substrate transfer part. The loading/unloading part includes: a first transfer device and a second transfer device configured to transfer the container; a first area accessible to the first transfer device and having a plurality of first storage shelves configured to store the container, a second area accessible to the second transfer device and having a plurality of second storage shelves configured to store the container; and a movable shelf configured to be movable between the first area and the second area.