공압 밸브 검증을 위한 자동 비트 체크

반도체 디바이스 프로세스 챔버와 커플링될 수도 있는 가스 라인과 커플링될 때 공압 밸브 검증을 위한 자동 비트 체크 피처가 기술된다. 가스 라인은 연결된 밸브를 폐쇄된 상태로 유지하도록 충전될 수 있고, 여기서 솔레노이드 (solenoid) 의 작동은 가스로 하여금 블리딩되게 (bleed out) 하고 밸브를 개방한다. 공압 가스 라인은 연결된 밸브를 폐쇄된 상태로 유지하도록 퍼지될 수도 있고, 여기서 솔레노이드의 작동은 가스로 하여금 라인 내로 흐르게 하고 밸브를 개방하도록 압력을 가한다. 하나 이상의 공기 라인들이 솔레노이드 및...

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