공압 밸브 검증을 위한 자동 비트 체크

반도체 디바이스 프로세스 챔버와 커플링될 수도 있는 가스 라인과 커플링될 때 공압 밸브 검증을 위한 자동 비트 체크 피처가 기술된다. 가스 라인은 연결된 밸브를 폐쇄된 상태로 유지하도록 충전될 수 있고, 여기서 솔레노이드 (solenoid) 의 작동은 가스로 하여금 블리딩되게 (bleed out) 하고 밸브를 개방한다. 공압 가스 라인은 연결된 밸브를 폐쇄된 상태로 유지하도록 퍼지될 수도 있고, 여기서 솔레노이드의 작동은 가스로 하여금 라인 내로 흐르게 하고 밸브를 개방하도록 압력을 가한다. 하나 이상의 공기 라인들이 솔레노이드 및/또는 밸브의 타입에 따라, 솔레노이드와 밸브 사이에 커플링될 수도 있다. 밸브가 공압 뱅크 (pneumatic bank) 의 특정한 솔레노이드에 올바르게 연결된다는 것을 자동 검증하기 위한 방법이 기술된다. 방법은 특정한 솔레노이드가 목표된 (desired) 밸브를 개방한다는 검증을 인에이블할 수 있다. An auto bit check feature for pneumatic valve verification as coupled with a gas line that may be coupled with a semiconductor device process chamber. The gas line can be charged to keep a connected valve closed, where activation of a solenoid forces the gas to bleed out and open the valve. The pneumatic gas line may be is purged to keep a connected valve closed, where activation of the solenoid forces gas to flow in the line and apply a pressure to open the valve. One or more airlines may be coupled between solenoid and the valve, depending on the type of solenoid and/or valve. Described is a method to auto verify that a valve is correctly connected to a specific solenoid in a pneumatic bank. The method can enable verification that a particular solenoid opens a desired valve.