기판수납용기, 그 제조방법 및 뚜껑체측 기판지지부

뚜껑체(3)는 뚜껑체측 제1규제부(36)와 뚜껑체측 제2규제부(37)를 구비한다. 뚜껑체측 기판지지부(7)는, 지지부측 제1규제부(76)와 지지부측 제2규제부(77)를 구비하고, 뚜껑체(3)에 대하여 제1위치로부터 제2위치로 슬라이드 방향(D22)으로 슬라이드함으로써, 뚜껑체(3)에 장착된다. 뚜껑체측 제2규제부(37)는, 뚜껑체측 기판지지부(7)를 제1위치에 위치시키기 위한, 기판수납공간(27)의 측과는 반대측(D11)으로의 뚜껑체측 기판지지부(7)의 이동을 규제하지 않는다. 제1위치에 있어서, 뚜껑체측 제1규제부(36)는, 슬라이드 방향(D22)으로의 지지부측 제1규제부(76)의 이동을 허용하고, 슬라이드 방향(D22)으로의 지지부측 제2규제부(77)의 이동을 허용한다. 제2위치에 있어서, 뚜껑체측 제1규제부(36)는, 슬라이드 방향과는 반대방향(D21)으로의 지지부측 제1규제부(76)의 이동을 규제하고, 슬라이드 방향(D22)으로의 지지부측 제2규제부(77)의 이동을 규제하고, 뚜껑체측 제2규제부(37)는 기판수납공간(27)의 측(D12)으로의 뚜껑체측 기판지지부(7)의 이동을 규제한다. A lid 3 is provided with a lid-side first restriction part 36 and a lid-side second restriction part 37. A lid-side substrate support 7 is provided with a support-side first restriction part 76 and a support-side second restriction part 77, and is fitted to the lid 3 by being slid in a sliding direction D22 from a first position to a second position with respect to the lid 3. The lid-side second restriction part 37 does not restrict movement, of the lid-side substrate support 7 to the opposite side D11 of the side of a substrate storage space 27, for setting the lid-side substrate support 7 to the first position. At the first position, the lid-side first restriction part 36 permits movement of the support-side first restriction part 76 in the sliding direction D22, and permits movement of the support-side second restriction part 77 in the sliding direction D22. At the second position, the lid-side first restriction part 36 restricts movement of the support-side first restriction part 76 in the opposite direction D21 of the sliding direction and restricts movement of the support-side second restriction part 77 in the sliding direction D22, and the lid-side second restriction part 37 restricts movement of the lid-side substrate support 7 to the side D12 of the substrate storage space 27.