POLISHING APPARATUS

[과제] 유로에 잔존한 연마액에 기인하여 유로에 막힘이 발생하는 것을 억제 가능함과 아울러, 가령 유로에 막힘이 발생한 경우에, 이 막힘의 발생을 검출할 수 있는 기술을 제공한다. [해결 수단] 연마 장치(1)는, 제어 장치(90)를 구비하고, 제어 장치(90)는, 연마기(10)가 연마한 기판(Wf)의 매수가 소정 매수에 도달한 경우에, 세정액을 유로(70a)로 유통시키고, 그 후, 연마액을 유로(70a)로 유통시키는, 세정 처리와, 세정액이 유로를 유통하고 있을 때, 센서(60), (61)가 검출한 세정액의 압력 또는 유량에 기초...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MORIURA TAKUYA, ITO MASAYOSHI
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS GRINDING MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING PERFORMING OPERATIONS POLISHING TRANSPORTING
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creator	MORIURA TAKUYA ITO MASAYOSHI
description	[과제] 유로에 잔존한 연마액에 기인하여 유로에 막힘이 발생하는 것을 억제 가능함과 아울러, 가령 유로에 막힘이 발생한 경우에, 이 막힘의 발생을 검출할 수 있는 기술을 제공한다. [해결 수단] 연마 장치(1)는, 제어 장치(90)를 구비하고, 제어 장치(90)는, 연마기(10)가 연마한 기판(Wf)의 매수가 소정 매수에 도달한 경우에, 세정액을 유로(70a)로 유통시키고, 그 후, 연마액을 유로(70a)로 유통시키는, 세정 처리와, 세정액이 유로를 유통하고 있을 때, 센서(60), (61)가 검출한 세정액의 압력 또는 유량에 기초하여 유로에 막힘이 발생한 것을 검출하는, 막힘 검출 처리를 실행한다. A polishing apparatus 1 includes a control device 90. The control device 90 performs: a cleaning process of causing a cleaning solution to flow in a flow channel 70a and then causing a polishing solution to flow in the flow channel 70a when the number of substrates Wf polished by a polishing machine 10 reaches a predetermined number; and a clogging detecting process of detecting whether clogging has occurred in the flow channel based on a pressure or a flow rate of the cleaning solution detected by sensors 60 and 61 when the cleaning solution flows in the flow channel.
format	Patent
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The control device 90 performs: a cleaning process of causing a cleaning solution to flow in a flow channel 70a and then causing a polishing solution to flow in the flow channel 70a when the number of substrates Wf polished by a polishing machine 10 reaches a predetermined number; and a clogging detecting process of detecting whether clogging has occurred in the flow channel based on a pressure or a flow rate of the cleaning solution detected by sensors 60 and 61 when the cleaning solution flows in the flow channel.</description><language>eng ; kor</language><subject>DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES ; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS ; GRINDING ; MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING ; PERFORMING OPERATIONS ; POLISHING ; TRANSPORTING</subject><creationdate>2024</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20240412&DB=EPODOC&CC=KR&NR=20240047916A$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,776,881,25543,76293</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20240412&DB=EPODOC&CC=KR&NR=20240047916A$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>MORIURA TAKUYA</creatorcontrib><creatorcontrib>ITO MASAYOSHI</creatorcontrib><title>POLISHING APPARATUS</title><description>[과제] 유로에 잔존한 연마액에 기인하여 유로에 막힘이 발생하는 것을 억제 가능함과 아울러, 가령 유로에 막힘이 발생한 경우에, 이 막힘의 발생을 검출할 수 있는 기술을 제공한다. 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