이온 밀링 장치

애노드-캐소드 간이 단락되어, 시료 가공이 중단되었을 경우에도, 시료 가공으로 자동 복귀할 수 있는 이온 밀링 장치를 제공한다. 이온 밀링 장치는, 시료실(111)과, 시료실 내에 배치되어, 시료를 재치하는 시료 스테이지(102)와, 제1 내부 전극(203), 제2 내부 전극(202)을 구비하는 이온원(101)과, 이온원에 삽발 가능한 막대 형상 전극(106)과, 제1 내부 전극, 제2 내부 전극 및 막대 형상 전극에 접속되는 전원 유닛(108)을 가지며, 막대 형상 전극이 이온원에 삽입된 상태에서, 전원 유닛은 막대 형상 전극과 제1 내부 전극 및 제2 내부 전극 사이에 제2 방전 전압을 인가하는 것에 의해, 이온원은 그 내부에, 막대 형상 전극과 제1 내부 전극 또는 제2 내부 전극 사이의 방전에 의해 발생한 전자와 가스의 충돌에 의해 이온을 발생시킨다. Provided is an ion milling device which, even when there is a short between an anode and a cathode and sample processing is interrupted, can automatically resume the sample processing. This ion milling device comprises: a sample chamber (111); a sample stage (102) which is disposed inside the sample chamber and on which a sample is placed; an ion source (101) which is provided with a first internal electrode (203) and a second internal electrode (202); a rod-shaped electrode (106) which can be inserted into and removed from the ion source; and a power source unit (108) which is connected to the first internal electrode (203), the second internal electrode (202), and the rod-shaped electrode (106). In a state in which the rod-shaped electrode (106) is inserted into the ion source (101), the power source unit (108) applies a second discharge voltage between the rod-shaped electrode (106) and the first internal electrode (203) and second internal electrode (202), such that the ion source (101) generates therein ions via the collision of gas and electrons generated by discharge between the rod-shaped electrode (106) and the first internal electrode (203) or the second internal electrode (202).