세정 바스켓

세정 바스켓에 잔류하는 세정액의 양을 저감함과 함께, 세정 바스켓에 수용된 다결정 실리콘의 건조 효율을 향상한다. 세정 바스켓(1)은, 다결정 실리콘을 수용한 상태에서 다결정 실리콘의 세정 및 건조의 적어도 한쪽에 사용되고, 복수의 관통공이 형성된 바닥판(2)과, 바닥판(2)의 상면(23)과의 이루는 각(θ1)이 10˚ 이상 80˚ 이하가 되는 내면(33)을 갖고, 상방 외측을 향해서 경사져서 바닥판(2)에 접속되는 경사판(3)과, 경사판(3)에 접속되고, 상방향으로 연신하는 측판(4)을 구비한다. In order to reduce...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	ICHITSUBO KOKI
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	CHEMISTRY CLEANING CLEANING IN GENERAL COMPOUNDS THEREOF INORGANIC CHEMISTRY METALLURGY NON-METALLIC ELEMENTS PERFORMING OPERATIONS PREVENTION OF FOULING IN GENERAL TRANSPORTING
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