세정 바스켓
세정 바스켓에 잔류하는 세정액의 양을 저감함과 함께, 세정 바스켓에 수용된 다결정 실리콘의 건조 효율을 향상한다. 세정 바스켓(1)은, 다결정 실리콘을 수용한 상태에서 다결정 실리콘의 세정 및 건조의 적어도 한쪽에 사용되고, 복수의 관통공이 형성된 바닥판(2)과, 바닥판(2)의 상면(23)과의 이루는 각(θ1)이 10˚ 이상 80˚ 이하가 되는 내면(33)을 갖고, 상방 외측을 향해서 경사져서 바닥판(2)에 접속되는 경사판(3)과, 경사판(3)에 접속되고, 상방향으로 연신하는 측판(4)을 구비한다. In order to reduce...
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Format: | Patent |
Sprache: | kor |
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Zusammenfassung: | 세정 바스켓에 잔류하는 세정액의 양을 저감함과 함께, 세정 바스켓에 수용된 다결정 실리콘의 건조 효율을 향상한다. 세정 바스켓(1)은, 다결정 실리콘을 수용한 상태에서 다결정 실리콘의 세정 및 건조의 적어도 한쪽에 사용되고, 복수의 관통공이 형성된 바닥판(2)과, 바닥판(2)의 상면(23)과의 이루는 각(θ1)이 10˚ 이상 80˚ 이하가 되는 내면(33)을 갖고, 상방 외측을 향해서 경사져서 바닥판(2)에 접속되는 경사판(3)과, 경사판(3)에 접속되고, 상방향으로 연신하는 측판(4)을 구비한다.
In order to reduce an amount of a cleaning liquid remaining in a cleaning basket and to improve efficiency of drying polycrystalline silicon accommodated in the cleaning basket, a cleaning basket (1) is used for at least one of cleaning and drying of polycrystalline silicon in a state in which the polycrystalline silicon is accommodated and includes: a bottom plate (2) provided with a plurality of through holes formed therein; oblique plates (3) each of which has an inner surface (33) that makes, with an upper surface (23) of the bottom plate (2), an angle (θ1) of not less than 10° and not more than 80°, the oblique plates (3) each being connected to the bottom plate (2) and inclining in an upward and outward direction: and respective side plates (4) which are connected to the oblique plates (3) and which extend in an upward direction. (Fig. 3) |
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