SUBSTRATE ANALYSIS SYSTEM

본 발명의 일 실시예는, 패턴층이 형성된 기판이 반입 또는 반출되도록 구성되는 로드 락 모듈; 상기 패턴층의 밀링 영역에 이온 빔을 조사하여 상기 패턴층의 적어도 일부가 제거된 절삭면을 형성하도록 구성되는 밀링(milling) 모듈; 상기 밀링 모듈로부터 상기 기판을 전달받아, 상기 절삭면의 중심부에 형성된 분석 영역의 절삭 깊이를 측정하도록 구성되는 깊이 측정 모듈; 상기 깊이 측정 모듈로부터 상기 기판을 전달받아, 상기 분석 영역의 2차원 이미지를 촬영하도록 구성되는 이미징 모듈; 상기 로드 락 모듈, 상기 밀링 모듈, 상기 깊...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	LEE MYUNG JUN, PARK HYE NOK, PARK JONG HYEOK, KIM KWANG RAK, CHO JUNG HEE, HWANG YUN, KIM JI WOONG, CHO YUN JE, WANG JEONG HYEON
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CALCULATING COMPUTING COUNTING ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING
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