INSPECTION APPARATUS AND METHOD OF INSPECTION

검사 장치는, 소정의 제1 부분을 포함하는 제1 면 및 제1 면과 대향하되 소정의 제2 부분을 포함하는 제2 면을 포함하는 검사 대상물을 측정하는 검사 장치에 있어서, 일방향 및 일방향과 교차하는 방향을 따라 배열되는 복수의 센서들을 포함하는 센서부, 제1 면의 제1 부분을 촬상한 제1 이미지와 제2 면의 제2 부분을 촬상한 제2 이미지를 센서부의 서로 다른 센서들에 투영시키는 촬상부를 포함한다....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: JUNG YOUNGIL, AHN HYEONGMIN, KIM JOON GEOL
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:검사 장치는, 소정의 제1 부분을 포함하는 제1 면 및 제1 면과 대향하되 소정의 제2 부분을 포함하는 제2 면을 포함하는 검사 대상물을 측정하는 검사 장치에 있어서, 일방향 및 일방향과 교차하는 방향을 따라 배열되는 복수의 센서들을 포함하는 센서부, 제1 면의 제1 부분을 촬상한 제1 이미지와 제2 면의 제2 부분을 촬상한 제2 이미지를 센서부의 서로 다른 센서들에 투영시키는 촬상부를 포함한다.