INSPECTION APPARATUS AND METHOD OF INSPECTION
검사 장치는, 소정의 제1 부분을 포함하는 제1 면 및 제1 면과 대향하되 소정의 제2 부분을 포함하는 제2 면을 포함하는 검사 대상물을 측정하는 검사 장치에 있어서, 일방향 및 일방향과 교차하는 방향을 따라 배열되는 복수의 센서들을 포함하는 센서부, 제1 면의 제1 부분을 촬상한 제1 이미지와 제2 면의 제2 부분을 촬상한 제2 이미지를 센서부의 서로 다른 센서들에 투영시키는 촬상부를 포함한다....
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | 검사 장치는, 소정의 제1 부분을 포함하는 제1 면 및 제1 면과 대향하되 소정의 제2 부분을 포함하는 제2 면을 포함하는 검사 대상물을 측정하는 검사 장치에 있어서, 일방향 및 일방향과 교차하는 방향을 따라 배열되는 복수의 센서들을 포함하는 센서부, 제1 면의 제1 부분을 촬상한 제1 이미지와 제2 면의 제2 부분을 촬상한 제2 이미지를 센서부의 서로 다른 센서들에 투영시키는 촬상부를 포함한다. |
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