ARRAYED COLUMN DETECTOR

본 개시의 하나 이상의 실시예에 따른 전자 빔 검사 시스템이 개시된다. 시스템은 하나 이상의 1차 전자 빔을 생성하도록 구성된 전자 빔 소스를 포함할 수 있다. 검사 시스템은 하나 이상의 1차 전자 빔을 샘플로 지향시키도록 구성된 전자 광학 요소들의 세트를 포함하는 전자 광학 컬럼(electron-optical column)을 또한 포함할 수 있다. 검사 시스템은 검출 어셈블리를 더 포함할 수 있고, 검출 어셈블리는, 샘플로부터 방출되는 전자들을 수집하도록 구성된 신틸레이터 기판 - 신틸레이터 기판은 수집된 전자들에 응답하여 광학 방사선을 생성하도록 구성됨 -; 하나 이상의 광 가이드; 광학 방사선을 수신하고 광학 방사선을 하나 이상의 광 가이드를 따라 지향시키도록 구성된 하나 이상의 반사 표면; 및 광 가이드로부터 광학 방사선을 수신하도록 구성된 하나 이상의 검출기를 포함한다. An electron beam inspection system is disclosed, in accordance with one or more embodiments of the present disclosure. The inspection system may include an electron beam source configured to generate one or more primary electron beams. The inspection system may also include an electron-optical column including a set of electron-optical elements configured to direct the one or more primary electron beams to a sample. The inspection system may further include a detection assembly comprising: a scintillator substrate configured to collect electrons emanating from the sample, the scintillator substrate configured to generate optical radiation in response to the collected electrons; one or more light guides; one or more reflective surfaces configured to receive the optical radiation and direct the optical radiation along the one or more light guides; and one or more detectors configured to receive the optical radiation from the light guide.