검사 시스템의 검사 방법 및 검사 시스템

검사 시스템은 피검사체의 전기적 검사를 행하는 검사 유닛을 복수 개 구비한다. 검사 방법은 검출된 총 전류에 기초하여 이하의 (a)~(c)의 판정 처리 중 적어도 하나를 실시하는 것이다. (a) 미동작 유닛이 검사를 시작할 타이밍에 총 전류와 시작 전류 역치를 비교하여 총 전류가 시작 전류 역치 이상인 경우에는, 미동작 유닛의 검사 시작을 대기시킨다. (b) 동작중 유닛이 검사하는 동안에 총 전류와 동작중 전류 역치를 비교하여 총 전류가 동작중 전류 역치 이상인 경우에는, 동작중 유닛을 대기시킨다. (c) 미동작 유닛이 검사를 시작할 타이밍에 총 전류와 처리 속도 전류 역치를 비교하여 총 전류가 처리 속도 전류 역치 이상인 경우에는, 저전력 및 저속의 처리 내용으로 설정하여 미동작 유닛의 검사를 시작한다. A test system includes a plurality of test units, each of which is configured to perform an electrical test of an object to be tested. In the test method, at least one of the following determination processes (a) to (c) is performed based on a detected total current. (a) compare the total current with a start current threshold value at a timing when an unoperated unit starts testing, and wait for a start of the testing of the unoperated unit when the total current is greater than or equal to the start current threshold value, (b) compare the total current with an in-operation current threshold value during testing of an operating unit, cause the operating unit to wait when the total current is greater than or equal to the in-operation current threshold value, and (c) compare the total current with a processing speed current threshold value at a timing when the unoperated unit starts testing, set a low-power and low-speed processing content to start the testing of the unoperated unit when the total current is greater than or equal to the processing speed current threshold value.