유효 표면적 증발을 위한 증발기
열 증발을 위한 방법 및 장치가 제공된다. 열 증발기는, 종래의 설계들에 비해, 증착될 물질의 증발을 위한 증가된 표면적을 제공하는 평평한 도가니 설계를 포함한다. 증발을 위한 증가된 표면적은, 증발된 물질의 더 많은 증기가 생성될 수 있고, 이는 증발기 몸체 내부의 압력을 증가시키고 노즐들 밖으로의 증발된 물질의 증가된 유동으로 이어진다는 것을 의미한다. 평평한 도가니는 열 증발기의 증발기 몸체에 부착될 수 있다. 평평한 도가니는 증발기 몸체 내에 통합될 수 있다. 증발기 몸체는 증발기 몸체의 표면적을 증가시키는 복수의 종방향 홈...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | 열 증발을 위한 방법 및 장치가 제공된다. 열 증발기는, 종래의 설계들에 비해, 증착될 물질의 증발을 위한 증가된 표면적을 제공하는 평평한 도가니 설계를 포함한다. 증발을 위한 증가된 표면적은, 증발된 물질의 더 많은 증기가 생성될 수 있고, 이는 증발기 몸체 내부의 압력을 증가시키고 노즐들 밖으로의 증발된 물질의 증가된 유동으로 이어진다는 것을 의미한다. 평평한 도가니는 열 증발기의 증발기 몸체에 부착될 수 있다. 평평한 도가니는 증발기 몸체 내에 통합될 수 있다. 증발기 몸체는 증발기 몸체의 표면적을 증가시키는 복수의 종방향 홈들을 포함할 수 있다. 열 증발기는 열 증발기를 개별 구획들로 분할하는 복수의 배플들을 포함할 수 있다.
A method and apparatus for thermal evaporation are provided. The thermal evaporator includes a flat crucible design, which provides an increased surface area for evaporation of the material to be deposited relative to conventional designs. The increased surface area for evaporation means that the more vapor of the evaporated material can be produced, which increases pressure inside the evaporator body leading to increased flow of the evaporated material out of the nozzles. The flat crucible can be attached to an evaporator body of the thermal evaporator. The flat crucible can be integrated within the evaporator body. The evaporator body can include a plurality of longitudinal grooves, which increase the surface area of the evaporator body. The thermal evaporator can include a plurality of baffles which divide the thermal evaporator into separate compartments. |
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