HYDROGEN SENSOR OF CATALYTIC COMBUSTION TYPE METHOD FOR FAVRICATING THEREOF APPARATUS AND METHOD OF DIAGNOSING DETERIORATION THEREOF

HYDROGEN SENSOR OF CATALYTIC COMBUSTION TYPE METHOD FOR FAVRICATING THEREOF APPARATUS AND METHOD OF DIAGNOSING DETERIORATION THEREOF

본 발명은 접촉 연소식 수소 센서, 그 제조 방법, 그 수소 센서의 열화 진단 장치 및 그 열화 진단 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 실시예에 따른 접촉 연소식 수소 센서는, 반도체 기판 상부에 형성되는 히터; 및 상기 히터의 상부에 상기 히터와 절연되어 형성된 촉매를 포함하고 상기 촉매는, 그리드 패턴으로 형성된 저항부; 및 상기 저항부와 동일 재질로 형성되며 상기 저항부의 저항 측정을 위한 전극 패드를 포함하는 감지 소자를 포함할 수 있다....

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1. Verfasser: KIM KI BEOM
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
Schlagworte:
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
MEASURING
PHYSICS
TESTING
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creator KIM KI BEOM
description 본 발명은 접촉 연소식 수소 센서, 그 제조 방법, 그 수소 센서의 열화 진단 장치 및 그 열화 진단 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 실시예에 따른 접촉 연소식 수소 센서는, 반도체 기판 상부에 형성되는 히터; 및 상기 히터의 상부에 상기 히터와 절연되어 형성된 촉매를 포함하고 상기 촉매는, 그리드 패턴으로 형성된 저항부; 및 상기 저항부와 동일 재질로 형성되며 상기 저항부의 저항 측정을 위한 전극 패드를 포함하는 감지 소자를 포함할 수 있다.
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