HYDROGEN SENSOR OF CATALYTIC COMBUSTION TYPE METHOD FOR FAVRICATING THEREOF APPARATUS AND METHOD OF DIAGNOSING DETERIORATION THEREOF

본 발명은 접촉 연소식 수소 센서, 그 제조 방법, 그 수소 센서의 열화 진단 장치 및 그 열화 진단 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 실시예에 따른 접촉 연소식 수소 센서는, 반도체 기판 상부에 형성되는 히터; 및 상기 히터의 상부에 상기 히터와 절연되어 형성된 촉매를 포함하고 상기 촉매는, 그리드 패턴으로 형성된 저항부; 및 상기 저항부와 동일 재질로 형성되며 상기 저항부의 저항 측정을 위한 전극 패드를 포함하는 감지 소자를 포함할 수 있다....

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	KIM KI BEOM
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 접촉 연소식 수소 센서, 그 제조 방법, 그 수소 센서의 열화 진단 장치 및 그 열화 진단 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 실시예에 따른 접촉 연소식 수소 센서는, 반도체 기판 상부에 형성되는 히터; 및 상기 히터의 상부에 상기 히터와 절연되어 형성된 촉매를 포함하고 상기 촉매는, 그리드 패턴으로 형성된 저항부; 및 상기 저항부와 동일 재질로 형성되며 상기 저항부의 저항 측정을 위한 전극 패드를 포함하는 감지 소자를 포함할 수 있다.