PLASMA GENERATOR BY RESONANT WAVEGUIDE

공진 도파관에 의한 플라즈마 발생장치가 개시된다. 상기 플라즈마 발생장치는 내측면에 복수 개의 슬롯을 포함하는 환형 또는 타원형의 중심 도파관; 상기 중심 도파관에 전자기파 소통 가능하게 접선으로 연결된 제1 입사 도파관; 상기 입사 도파관으로 전자기파를 전달하는 전자기파 공급부; 및 상기 중심 도파관 내부와 밀폐하도록, 상기 슬롯의 출구측에 위치하고, 상기 슬롯을 통해 유입된 전자기파가 외부로 방사될 수 있는, 전자기파 입사창이 형성된 플라즈마 챔버를 포함하는 것을 특징으로 한다. A plasma generator by means of a resonant waveguide is disclosed. The plasma generator comprises: an annular or elliptical central waveguide that includes a plurality of slots on the inner side surface thereof; a first incident waveguide that is tangentially connected to the central waveguide to enable electromagnetic wave communication; an electromagnetic wave supply unit that transmits electromagnetic waves to the incident waveguide; and a plasma chamber that has an electromagnetic wave incident window which is positioned on an outlet side of the slots to seal the inside of the central waveguide, and through which electromagnetic waves introduced through the slots may be radiated to the outside.