Inkjet head unit and substrate treating apparatus including the same

대면적 기판에 고해상도 픽셀 프린팅이 가능한 잉크젯 헤드 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공한다. 상기 기판 처리 장치는, 기판을 지지 및 이동시키는 공정 처리 유닛; 기판을 픽셀 프린팅시키는 잉크젯 헤드 유닛; 및 기판 상에서 잉크젯 헤드 유닛을 이동시키는 갠트리 유닛을 포함하며, 잉크젯 헤드 유닛은, 기판 상에 기판 처리액을 토출하는 복수의 노즐을 포함하는 헤드 팩; 및 복수의 헤드 팩이 설치되는 헤드 베이스를 포함하고, 복수의 헤드 팩은 헤드 베이스 내에서 일렬로 배치된다. An inkjet head unit cap...

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Hauptverfasser: CHO CHEON SU, CHO YONG KYU, WOO JANG MI, YANG JIN HYUCK, CHOI KI HOON
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:대면적 기판에 고해상도 픽셀 프린팅이 가능한 잉크젯 헤드 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공한다. 상기 기판 처리 장치는, 기판을 지지 및 이동시키는 공정 처리 유닛; 기판을 픽셀 프린팅시키는 잉크젯 헤드 유닛; 및 기판 상에서 잉크젯 헤드 유닛을 이동시키는 갠트리 유닛을 포함하며, 잉크젯 헤드 유닛은, 기판 상에 기판 처리액을 토출하는 복수의 노즐을 포함하는 헤드 팩; 및 복수의 헤드 팩이 설치되는 헤드 베이스를 포함하고, 복수의 헤드 팩은 헤드 베이스 내에서 일렬로 배치된다. An inkjet head unit capable of performing high-resolution pixel printing on a large-size substrate and a substrate treatment apparatus including the inkjet head unit are provided. The substrate treatment apparatus includes: a processing unit supporting and moving a substrate; an inkjet head unit performing pixel printing on the substrate; and a gantry unit moving the inkjet head unit over the substrate, wherein the inkjet head unit includes head packs, which include a plurality of nozzles ejecting a substrate treatment liquid onto the substrate, and a head base, in which the head packs are installed and the head packs are disposed in a single row in the head base.