화학적 기계적 연마 후 브러쉬 세정 박스

본원에 제공된 실시예들은 브러쉬 캐러셀 조립체를 사용하여 기판의 제1 표면을 세정하기 위한 시스템 및 방법을 포함한다. 일 실시예에서, 브러쉬 캐러셀 조립체는, 캐리지 축을 중심으로 회전하도록 구성된 캐리지 지지 구조를 갖는 회전가능한 캐리지에 결합된 하나 이상의 회전가능한 브러쉬 장착 조립체를 포함한다. 브러쉬 캐러셀 조립체는, 캐리지 축으로부터 제2 방사상 거리에 배치되고, 하나 이상의 회전가능한 지지 부재를 포함하는 캐리지의 지지 구조에 결합되는 제2 브러쉬 장착 조립체를 더 포함한다. Embodiments provided herein include a system and method for cleaning a first surface of a substrate using a brush carousel assembly. In one embodiment, the brush carousel assembly includes one or more rotatable brush mounting assemblies coupled to a rotatable carriage, having a carriage support structure configured to rotate about a carriage axis. The brush carousel assembly further includes a second brush mounting assembly disposed a second radial distance from the carriage axis, and coupled to the support structure of the carriage that includes the one or more rotatable support members.