주사형 축소 투영 광학계 및 이것을 이용한 레이저 가공 장치

본 발명에서는, 가로 멀티 모드의 펄스 레이저광을, 렌즈 어레이형의 줌 호모지나이저, 어레이 마스크(10), 스캐닝 미러(4), 포토마스크(6), 텔레센트릭 투영 렌즈(8)를 개재하여, 도너 기판 상에 미소 에어리어의 사이즈로 결상시키는 주사형 축소 투영 광학계에 의해, 도너 기판 상의 미소 소자를 대향하는 리셉터 기판 상에 높은 위치 정밀도로 리프트한다. 그 실시 공정으로서, 위치 정보 취득을 위한 검사, 리프트 에어리어 분할, 조사 위치 선택, 전사, 스테이지 이동의 각 공정을 밟는다. 이것에 의해, 대구경(大口徑)의 고액인 f...

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