Substrate cleaning device

본 발명은 기판 세정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 세정대상물인 기판을 세정하는 세정장치를 제공하되, 상기 세정대상물을 상하로 이동시키는 구조를 개선하여 전체 세정장치의 부피를 줄이고, 특히 상기 세정대상물을 상하로 승강시키는 구조를 개선하여 최소한의 공간에서 세정대상물을 승강시킬 수 있고, 특히 정밀한 높이 조절은 물론 승강 과정에서 세정대상물의 수평도를 유지할 수 있고 세정대상물을 회전시킴으로써 세정 효율을 높일 수 있는 한 기판 세정장치에 관한 것으로, 이를 위해 본 발명은, 세정대상물이 안치되는 테이블; 상기 테이블이 결합되고, 인가된 전원 및 신호에 의해 동작하면서 세정대상물을 회전시키는 스핀모터; 상기 스핀모터와 결합되는 승강모듈; 상기 승강모듈을 상승 또는 하강시키는 승강구동부;를 포함하되, 상기 승강모듈은, 길이 방향으로 연장된 바(bar) 형태로 이루어지며, 길이 방향 일단은 상기 스핀모터에 결합되는 승강바와, 상기 승강구동부와 결합되며 상기 승강바의 상승 또는 하강을 안내하는 가이드블록을 포함한 것을 특징으로 한다.