X선 발생 장치

케이스와, 상기 케이스 내에서 전자를 출사하는 전자 출사부를 가지는 전자총과, 상기 케이스 내에서 상기 전자의 입사에 의해 X선을 발생시키는 타겟과, 상기 케이스의 개구를 봉지하고 있고, 상기 X선을 투과시키는 창부재와, 상기 전자 출사부와 상기 타겟과의 사이에 관전압을 인가하는 관전압 인가부와, 상기 전자 출사부와 상기 타겟과의 사이에 자장을 형성하는 것에 의해 상기 전자를 편향하기 위한 자장 형성부를 구비하고, 상기 타겟의 두께는 분포를 가지고 있고, 상기 타겟은, 상기 관전압이 상대적으로 높을 때보다 상기 관전압이 상대적으로 낮을 때에 상기 전자가 상기 타겟의 두께에 있어서 상대적으로 얇은 부분에 입사하도록 배치되어 있는, X선 발생 장치. An X-ray generation device includes: a housing; an electron gun including an electron-emitting unit that emits an electron inside the housing; a target that generates an X-ray upon an incidence of the electron inside the housing; a window member that seals an opening of the housing and that transmits the X-ray; a tube voltage application unit that applies a tube voltage between the electron-emitting unit and the target; and a magnetic field-forming unit for deflecting the electron by forming a magnetic field between the electron-emitting unit and the target. A thickness of the target has a distribution, and the target is disposed such that the electron is incident on a portion of the target which is relatively thinner in the thickness when the tube voltage is relatively low than when the tube voltage is relatively high.