PROCESSING APPARATUS

(과제) 반송 기구의 흡반의 열화(정상인지 이상인지)를 간단하고 또한 확실하게 진단하여 흡반의 적정한 교환 시기를 정확하게 파악하는 것이다. (해결 수단) 척 테이블(40)과, 가공 수단(50)과, 반송 기구(70)와, 진단부(100)를 구비하는 절삭 장치(가공 장치)(1)에 있어서, 반송 기구(70)는, 탄성력이 있는 흡반(75)을 구비하는 반송 패드(74)와, 그 반송 패드(74)를 승강시키는 승강 기구(71)를 구비하고, 그 승강 기구(71)는, 볼 나사(714)와, 모터(715)와, 그 모터(715)의 부하 전류값을 검출하는 부하 전류값 검지부(720)를 구비하며, 진단부(100)는, 흡반(75)을 접촉면에 가압하고 상기 흡반(75)을 흡인원(78)에 연통시키며, 승강 기구(71)를 작동시켜 접촉면으로부터 소정 거리(Δh) 상에 반송 패드(74)를 상승시킬 때에 부하 전류값 검지부(720)가 검지하는 부하 전류값이 미리 설정한 임계값 이상인 경우에는 흡반(75)이 정상, 상기 임계값에 도달하지 않은 경우에는 흡반(75)이 이상이라고 진단한다. The invention provides a processing device, which can simply and reliably diagnose the deterioration of a suction cup of a conveying mechanism and accurately grasp the proper replacement time of the suction cup. In the cutting device provided with a chuck workbench (40), a machining component (50), a conveying mechanism (70) and a diagnosis part (100), the conveying mechanism is provided with a conveying pad (74) which is provided with a suction cup (75) with elasticity and a lifting mechanism (71) enabling the conveying pad to ascend and descend, the lifting mechanism is provided with a ball screw (714), a motor (715) and a load current value detection part (720) for detecting the load current value of the motor, and the ball screw (714) is connected with the motor (715). When the suction cup is pressed against the contact surface, the suction cup is communicated with a suction source (78), and the lifting mechanism is operated to lift the conveying pad from the contact surface by a specified distance ([Delta] h), the diagnosis part determines that the suction cup is normal under the condition that the load current value detected by the load current value detection part is greater than a preset threshold value, and the suction cup is not normal under the condition that the load current value detected by the load current value detection part is not less than the preset threshold value. When the load current value does not reach the threshold value, the diagnosis unit determines that the sucker is abnormal.