하이브리드 고전력 및 광대역 가변 임피던스 모듈들

본 발명은 전원 공급 시스템에 관한 것으로, 이는 RF 발생기, 매칭 네트워크 및 제어 모듈을 포함한다. 상기 매칭 네트워크는 적어도 하나의 기계적 가변 임피던스 요소와 적어도 하나의 전기적 가변 임피던스 요소를 포함한다. 상기 제어 모듈은 매칭 네트워크에 연결되고, 상기 발생기와 부하 사이의 임피던스 매칭을 변화시키기 위하여 기계적 가변 임피던스 요소의 임피던스 또는 전기적 가변 임피던스 요소의 임피던스 중 적어도 하나를 조정하기 위한 하나 이상의 신호를 발생하도록 구성된다. 다른 예에서, 하이브리드 가변 임피던스 모듈은 적어도 하나의 기계적 가변 임피던스 요소, 적어도 하나의 전기적 가변 임피던스 요소, 및 제어 모듈을 포함한다. 상기 제어 모듈은 기계적 가변 임피던스 요소의 임피던스 또는 전기적 가변 임피던스 요소의 임피던스 중 적어도 하나를 조정하기 위한 하나 이상의 신호들 발생하도록 구성된다. A power supply system includes a RF generator, a matching network, and a control module. The matching network includes at least one mechanically variable impedance element and at least one electrically variable impedance element. The control module is coupled to the matching network and configured to generate one or more signals to adjust at least one of an impedance of the mechanically variable impedance element or an impedance of the electrically variable impedance element to vary an impedance match between the generator and a load. In other examples, a hybrid variable impedance module includes at least one mechanically variable impedance element, at least one electrically variable impedance element, and a control module. The control module is configured to generate one or more signals to adjust at least one of an impedance of the mechanically variable impedance element or an impedance of the electrically variable impedance element.