웨이퍼-형상 물품을 홀딩하기 위한 디바이스
웨이퍼-형상 물품을 홀딩하기 위한 디바이스에 있어서, 디바이스 바디를 갖는 디바이스는, 디바이스에 의해 지지된 웨이퍼-형상 물품과 대면하도록 구성된 표면으로서, 표면은 중앙 리세스된 부분을 갖는, 표면; 중앙 리세스된 부분 외부의 표면에 유출구들을 갖는 제 1 가스 노즐들; 및 중앙 리세스된 부분 내부의 표면에 유출구들을 갖는 제 2 가스 노즐들을 포함한다. A device for holding a wafer-shaped article, the device having a device body comprising: a surface...
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| Hauptverfasser: | , , |
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| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
| Schlagworte: | |
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| Zusammenfassung: | 웨이퍼-형상 물품을 홀딩하기 위한 디바이스에 있어서, 디바이스 바디를 갖는 디바이스는, 디바이스에 의해 지지된 웨이퍼-형상 물품과 대면하도록 구성된 표면으로서, 표면은 중앙 리세스된 부분을 갖는, 표면; 중앙 리세스된 부분 외부의 표면에 유출구들을 갖는 제 1 가스 노즐들; 및 중앙 리세스된 부분 내부의 표면에 유출구들을 갖는 제 2 가스 노즐들을 포함한다.
A device for holding a wafer-shaped article, the device having a device body comprising: a surface configured to face a wafer-shaped article supported by the device, the surface having a central recessed portion; first gas nozzles having outlets in the surface outside the central recessed portion; and second gas nozzles having outlets in the surface inside the central recessed portion. |
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