폐쇄 루프 자동 막힘 감지 기능을 갖는 비접촉식 초음파 노즐 클리너

코팅 시스템을 작동하고 세척하는 시스템 및 방법이 개시된다. 기판에 재료를 도포하는 방법은 어플리케이터를 사용하여 기판상에 상기 재료를 분배하는 단계로서, 상기 어플리케이터는 내부에 상기 재료를 수용하고 그로부터 상기 기판을 향해 상기 재료를 방출하도록 구성되는, 상기 재료를 분배하는 단계; 상기 어플리케이터를 통해 분배되는 상기 재료의 매개변수를 측정하는 단계; 상기 매개변수가 사전 결정된 범위 내에 있는지를 결정하는 단계; 상기 매개변수가 상기 사전 결정된 범위 내에 있지 않을 때, 상기 기판상으로의 상기 재료의 분배를 중단시키고, 상기 매개변수가 상기 사전 결정된 범위 내에 있도록 상기 어플리케이터를 세척하는 단계; 및 상기 어플리케이터를 세척한 후, 상기 재료 분배를 재개하는 단계를 포함한다. Systems and methods of operating and cleaning coating systems are disclosed. A method of applying a material to a substrate includes dispensing the material onto a substrate using an applicator, the applicator being configured to receive the material therein and to discharge the material therefrom toward the substrate; measuring a parameter of the material being dispensed via the applicator; determining whether the parameter is within a predetermined range; when the parameter is not within the predetermined range, stopping the dispensing of the material onto the substrate and cleaning the applicator such that the parameter is within the predetermined range; and after cleaning the applicator, resuming dispensing the material.