ORGANOTIN CLUSTERS SOLUTIONS OF ORGANOTIN CLUSTERS AND APPLICATION TO HIGH RESOLUTION PATTERNING

식 R3Sn3(O2CR')5-x(OH)2+x(μ3-O)을 갖는 유기주석 클러스터로서, 여기서 0 ≤ x ≤ 2이고; R = 탄소수 1 내지 31의 분지형 또는 사이클로알킬; R' = H 또는 탄소수 1 내지 20의 알킬인 유기주석 클러스터가 기재된다. 3개의 카르복실라토 리간드가 가교이고, 2개의 OH 리간드가 가교이다. 나머지 2개의 카르복실라토 리간드는 비-가교 구성이고, 비-가교 카르복실라토 리간드는 용액 중에서 교환가능하다. 이들 클러스터의 용액은 나노미터 스케일 구조를 패턴화하는데 사용될 수 있는 방사선...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	ANDERSON JEREMY T, CARDINEAU BRIAN J, MEYERS STEPHEN T, EARLEY WILLIAM, JIANG KAI
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAININGELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN,SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CHEMISTRY CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR METALLURGY ORGANIC CHEMISTRY ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	식 R3Sn3(O2CR')5-x(OH)2+x(μ3-O)을 갖는 유기주석 클러스터로서, 여기서 0 ≤ x ≤ 2이고; R = 탄소수 1 내지 31의 분지형 또는 사이클로알킬; R' = H 또는 탄소수 1 내지 20의 알킬인 유기주석 클러스터가 기재된다. 3개의 카르복실라토 리간드가 가교이고, 2개의 OH 리간드가 가교이다. 나머지 2개의 카르복실라토 리간드는 비-가교 구성이고, 비-가교 카르복실라토 리간드는 용액 중에서 교환가능하다. 이들 클러스터의 용액은 나노미터 스케일 구조를 패턴화하는데 사용될 수 있는 방사선 민감성 코팅을 형성하는데 적합하다. 방사선 민감성 코팅은 EUV 패턴화에 특히 적합하다. Organotin clusters are described with the formula R3Sn3(O2CR′)5−x(OH)2+x(μ3-O) with 0≤x