SAFETY FENCE AND APPARATUS FOR TRANSFERRING HAVING THE SAME AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE HAVING THE SAME

안전 펜스는 집적회로 소자의 제조 라인의 아래쪽에서 가해질 수 있는 간섭으로부터 천장 쪽을 보호하도록 함과 아울러 상기 천장 쪽에서 아래쪽으로 낙하될 수 있는 낙하물로부터 안전을 확보하도록 구비될 수 있는 것으로써, 상기 천장 쪽에 배치 지지되도록 구비되되, 펼쳐진 상태에서는 상기 천장 쪽을 향하여 접을 수 있는 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 접혀진 상태에서는 상기 아래쪽을 향하여 펼칠 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. A transfer device may include a transfer part including tra...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SEO EUN HO, LEE IN KWANG, BAEK SUNG HYUP, JUN SANG PYO, KIM HYO CHUL
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS BLASTING CONVEYING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL HEATING LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING PACKING PERFORMING OPERATIONS PNEUMATIC TUBE CONVEYORS SAFETY DEVICES IN GENERAL SEMICONDUCTOR DEVICES SHOP CONVEYOR SYSTEMS STORING THERMAL INSULATION IN GENERAL TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING TRANSPORTING WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	안전 펜스는 집적회로 소자의 제조 라인의 아래쪽에서 가해질 수 있는 간섭으로부터 천장 쪽을 보호하도록 함과 아울러 상기 천장 쪽에서 아래쪽으로 낙하될 수 있는 낙하물로부터 안전을 확보하도록 구비될 수 있는 것으로써, 상기 천장 쪽에 배치 지지되도록 구비되되, 펼쳐진 상태에서는 상기 천장 쪽을 향하여 접을 수 있는 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 접혀진 상태에서는 상기 아래쪽을 향하여 펼칠 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. A transfer device may include a transfer part including transfer rails installed on a ceiling of a manufacturing line for an integrated circuit device and a transfer vehicle running along the transfer rails, and a safety fence disposed adjacent to the transfer part. The safety fence may include a plurality of first horizontal supporting portions disposed in parallel to the transfer rails, a plurality of second horizontal supporting portions connecting the plurality of first horizontal supporting portions to the transfer rails, a plurality of vertical supporting portions extended from the plurality of horizontal supporting portions, respectively, and a plate portion connected to the plurality of vertical supporting portions. The safety fence may be partially foldable and partially unfoldable.